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真空检漏,标准及有关术语

作者：时间：2023-06-02

检漏及有关术语
1漏孔

1.1漏孔leaks：在真空技术中,在压力或浓度差的作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或封闭器壁上的其它结构。
1.2通道漏孔channel leak：可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一种漏孔。
1.3 薄膜漏孔membrane leak：气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。
1.4分子漏孔molecular leak：漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。
1.5粘滞漏孔vixcous leak：漏孔的质量流率正比于流动气体粘度的倒数的一种漏孔。
1.6校准漏孔calibrated leak：在规定条件下，对于一种规定气体提供已知质量流率的一种漏孔。
1.7标准漏孔reference leak ：在规定条件下（入口压力为100kPa±5%，温度为23±7℃），漏率是已知的一种校准用的漏孔。
1.8虚漏virtual leak：在系统内，由于气体或蒸汽的放出引起的压力增加。
1.9漏率leak rate：在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。
1.10标准空气漏率standard air leak rate：在规定的标准状态下，露点低于-25℃的空气通过一个漏孔的流量。
1.11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate：对于低于10-7到10-8Pa?m3?s-1标准空气漏率的分子漏孔，氦（分子量4）流过这样的漏孔比空气（分子量290）更快，即氦流率对应于较小的空气漏率，在规定条件下，等值标准空气漏率为√4/29=0.37氦漏率。
1.12探索（示漏）气体；用来对真空系统进行检漏的气体。

2本底
2.1本底background：一般地在没有注入探索气体时，检漏仪给出的总的指示。
2.2探索气体本底search gas background ：由于从检漏仪壁或检漏系统放出探索气体所造成的本底。
2.3漂移drift：本底比较缓慢的变化。重要参量是规定周期内测得的最大漂移。
2.4噪声noise：本底比较迅速的变化。重要参量是规定周期内测得的噪声。
3检漏仪
3.1检漏仪leak detector：用来检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。
3.2高频火花检漏仪H.F. spark leak detector：在玻璃系统上，用高频放电线圈所产生的电火花，能集中于漏孔处的现象来确定漏孔位置的检漏仪（通常用它对玻璃系统进行检漏）。
3.3卤素检漏仪halide leak detector：利用卤族元素探索气体存在时，使赤热铂电极发射正离子大大增加的原理来制做的检漏仪。
3.4氦质谱检漏仪helium mass spectrometer leak detector：利用磁偏转原理制成的对于漏气体氦反应灵敏，专门用来检漏的质谱仪。
3.5检漏仪的最小可检漏率minimum detectable rate of leak detector：当存在本底噪声时，将仪器调整到最佳情况下，纯探索气体通过漏孔时，检漏仪所能检出的最小漏率。

4检漏
4.1气泡检漏leak detection by bubbles：将空气压入被检容器，然后将其浸入水中或者对其可疑表面涂上肥皂液，观察气泡确定漏孔位置。
4.2氨检漏leak detection by ammonia：将氨压入被检容器，然后通过观察覆在可疑表面上试纸或试布颜色的改变来确定漏孔位置。
4.3升压检漏leak detection of rise pressure：被抽空容器与真空泵隔离后，测定随时间的增加而升高的压力值，来确定漏气率。
4.4放射性同位素检漏radioactive isotope leak detection：在被检容器或零件内，装入适当半衰期的放射性同位素，利用测定从漏孔穿出的放射性同位素的放射能来确定漏孔位置。
4.5荧光检漏fluorescence leak detection ：将被检零件浸入荧光粉的有机溶液（三氯乙烯或四氯化碳）中，漏孔处将留有荧光粉，用紫外线照射荧光粉发光来确定漏孔位置。

检漏及有关术语
1漏孔

1.1漏孔leaks：在真空技术中,在压力或浓度差的作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或封闭器壁上的其它结构。
1.2通道漏孔channel leak：可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一种漏孔。
1.3 薄膜漏孔membrane leak：气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。
1.4分子漏孔molecular leak：漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。
1.5粘滞漏孔vixcous leak：漏孔的质量流率正比于流动气体粘度的倒数的一种漏孔。
1.6校准漏孔calibrated leak：在规定条件下，对于一种规定气体提供已知质量流率的一种漏孔。
1.7标准漏孔reference leak ：在规定条件下（入口压力为100kPa±5%，温度为23±7℃），漏率是已知的一种校准用的漏孔。
1.8虚漏virtual leak：在系统内，由于气体或蒸汽的放出引起的压力增加。
1.9漏率leak rate：在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。
1.10标准空气漏率standard air leak rate：在规定的标准状态下，露点低于-25℃的空气通过一个漏孔的流量。
1.11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate：对于低于10-7到10-8Pa?m3?s-1标准空气漏率的分子漏孔，氦（分子量4）流过这样的漏孔比空气（分子量290）更快，即氦流率对应于较小的空气漏率，在规定条件下，等值标准空气漏率为√4/29=0.37氦漏率。
1.12探索（示漏）气体；用来对真空系统进行检漏的气体。

2本底
2.1本底background：一般地在没有注入探索气体时，检漏仪给出的总的指示。
2.2探索气体本底search gas background ：由于从检漏仪壁或检漏系统放出探索气体所造成的本底。
2.3漂移drift：本底比较缓慢的变化。重要参量是规定周期内测得的最大漂移。
2.4噪声noise：本底比较迅速的变化。重要参量是规定周期内测得的噪声。
3检漏仪
3.1检漏仪leak detector：用来检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。
3.2高频火花检漏仪H.F. spark leak detector：在玻璃系统上，用高频放电线圈所产生的电火花，能集中于漏孔处的现象来确定漏孔位置的检漏仪（通常用它对玻璃系统进行检漏）。
3.3卤素检漏仪halide leak detector：利用卤族元素探索气体存在时，使赤热铂电极发射正离子大大增加的原理来制做的检漏仪。
3.4氦质谱检漏仪helium mass spectrometer leak detector：利用磁偏转原理制成的对于漏气体氦反应灵敏，专门用来检漏的质谱仪。
3.5检漏仪的最小可检漏率minimum detectable rate of leak detector：当存在本底噪声时，将仪器调整到最佳情况下，纯探索气体通过漏孔时，检漏仪所能检出的最小漏率。

4检漏
4.1气泡检漏leak detection by bubbles：将空气压入被检容器，然后将其浸入水中或者对其可疑表面涂上肥皂液，观察气泡确定漏孔位置。
4.2氨检漏leak detection by ammonia：将氨压入被检容器，然后通过观察覆在可疑表面上试纸或试布颜色的改变来确定漏孔位置。
4.3升压检漏leak detection of rise pressure：被抽空容器与真空泵隔离后，测定随时间的增加而升高的压力值，来确定漏气率。
4.4放射性同位素检漏radioactive isotope leak detection：在被检容器或零件内，装入适当半衰期的放射性同位素，利用测定从漏孔穿出的放射性同位素的放射能来确定漏孔位置。
4.5荧光检漏fluorescence leak detection ：将被检零件浸入荧光粉的有机溶液（三氯乙烯或四氯化碳）中，漏孔处将留有荧光粉，用紫外线照射荧光粉发光来确定漏孔位置。

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